레티클 보호막 검사 방법 및 검사 시스템
DETECTION METHOD AND SYSTEM FOR PELLICLE MEMBRANE OF PHOTOMASK
第 1/1 筆

摘要

레티클 보호막 검사 방법은 외부로부터 예정 압력을 가하여 보호막의 모양을 변경시킨 다음, 보호막의 변형량, 영률, 그리고 굽힘 강성 중 최소한 한 가지 데이터를 측정 계산하고, 보호막의 변형량, 영률, 그리고 굽힘 강성 중 최소한 한 가지 데이터를 이용하여 보호막에 대한 검사 결과를 획득해서 해당 보호막의 품질을 검사한다.

書目資料

申請日20200630
公告日20220819
申請號KR1020200080602
公告號KR1024345500000B1 公開 KR1020210076819A
申請人서던 타이완 유니버시티 오브 사이언스 앤드 테크놀로지 (TW)
原始專利權人서던 타이완 유니버시티 오브 사이언스 앤드 테크놀로지 (TW)
發明人리 위칭
代理人특허법인아주김장리
審查委員홍종선
優先權TW 108145796 20191213;
TW 109111805 20200408
引用專利US20020126269A1*; US20110014577A1*; US20160274471A1*; US20170122913A1*
IPCH01L 21/66(2006.01)
CPCG03F 1/62(2013.01); G03F 7/70983(2013.01); H01L 22/12(2013.01); H01L 22/24(2013.01); G03F 1/62(2013.01); G03F 7/70983(2013.01)
類別碼B1
縮圖尺寸 圖示：