레티클 보호막의 총체적 동적 검사 방법은 보호막에 광대역 주파수 진동이 일어나게 한 다음 다중 주파 진동이 있는 보호막에 광대역 주파수 신호를 가하여 해당 보호막에서 반사되는 광학 시간 영역 신호를 변환하는 방식으로 여러 개의 공진 주파수가 있는 스펙트럼을 획득한다. 그런 다음 상기 스펙트럼으로 보호막을 종합적으로 검사하여 보호막의 품질을 보장한다. 본 발명은 또한 상기 총체적 동적 검사 방법에 사용되는 총체적 동적 검사 시스템을 제공한다.